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J-GLOBAL ID：200903012983383371

湿度センサ

Inventor： ウサノフ,ユリー ゲンナディエビチ ,  ホロノフ,ユリー アレクスィービチ ,  ポリバノフ,パベル ペトロビチ
Applicant, Patent owner： ウサノフ,ユリー ゲンナディエビチ
Agent (1)： 石田 敬 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1995511651
Publication number (International publication number)：1996505234
Application date： Oct. 19, 1994
Publication date： Jun. 04, 1996
Summary：

【要約】湿度センサは、平坦な例えば長方形の基板(1)と、溶射により形成された湿度検知層(5)と、溶射により形成された折れ線状例えば蛇行状のテープヒーター(4)とを備えている。単結晶シリコンで作られた平坦基板(1)の表面上に、絶縁層として機能する二酸化シリコン膜(3)を熱酸化により形成する。平坦基板(1)に2段階のエッチングを施す。先ず、二酸化シリコン層(3)の両面に互いに向かい合わせて、例えば長方形の、窓をエッチングにより開け、平坦基板(1)の一方の表面上にテープヒーター(4)を堆積させる。次に、平坦基板(1)の他方の表面に二酸化シリコン膜内の上記窓と一致させて、例えば長方形の、窓をエッチングにより開ける。更に、平坦基板(1)内の窓の上方に位置するテープヒーター(4)の両面に湿度検知層(5)を溶射する。このテープヒーター(4)は端子(6)を有する検知素子としても機能する。

Claim (excerpt)：

平坦な例えば長方形の基板(1)、溶射により形成された湿度検知層(5)、および溶射により形成された折れ線状例えば蛇行状のテープヒーター(4)を備えた湿度センサにおいて、単結晶シリコンで作られた該平坦な基板(1)の表面上に、絶縁層として機能する二酸化シリコン膜(3)を熱酸化により形成し、向き合った例えば長方形の窓を該二酸化シリコン膜(3)内にエッチングにより開け、該平坦な基板(1)の片面と該二酸化シリコン膜(3)の非エッチ部とにテープヒーター(4)を堆積させ、そして該平坦な基板(1)の他面に、例えば長方形の、窓(2)をエッチングにより開けてあり、該窓(2)は該二酸化シリコン膜(3)内の窓と合致させてあり、更に該平坦な基板(1)内の窓(2)の上方に位置する該テープヒーター(4)の両面に湿度検知層(5)を溶射し、該テープヒーター(4)は端子(8)を持つ検知素子としても機能するようにしたことを特徴とする湿度センサ。

IPC (2)：

G01N 27/12 ,  G01N 27/18