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J-GLOBAL ID：200903012989561913

極低温冷凍装置

Inventor： 栗原 利行 ,  富岡 計次 ,  岡本 昌和 ,  三浦 克哉
Applicant, Patent owner： ダイキン工業株式会社
Agent (1)： 前田 弘 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996044631
Publication number (International publication number)：1997236344
Application date： Mar. 01, 1996
Publication date： Sep. 09, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ディスプレーサ型膨張機からなる予冷及びシールド冷凍機26,40と、JT冷凍機48とに対し、JT冷凍機48の冷凍能力への予冷冷凍機26の冷凍能力の影響を小さくし、液体ヘリウムタンクTh内の蒸発ヘリウムガスを冷却して凝縮液化する場合にタンクTh内のヘリウムガスを常温から凝縮温度まで短時間で冷却する。【解決手段】 JT冷凍機48において圧縮機5,8からの高圧ヘリウムガスを、圧縮機5,8側に戻る低温度の低圧ヘリウムガスと熱交換する4段のJT熱交換器51〜54のうち、その最高温側の第1JT熱交換器51で冷却された後のヘリウムガスを予冷熱交換器50でシールド冷凍機40のヒートステーション43により予冷した後に、予冷冷凍機26のヒートステーション37,38で予冷するようにする。

Claim (excerpt)：

冷媒ガスを圧縮する圧縮機(5),(8)と、上記圧縮機(5),(8)からの高圧冷媒ガスを圧縮機(5),(8)側に戻る低温度の低圧冷媒ガスと熱交換する複数段のJT熱交換器(51)〜(54)と、該JT熱交換器(51)〜(54)で冷却された高圧冷媒ガスをジュールトムソン膨張させて極低温を発生させるJT弁(58)とを有するJT冷凍機(48)と、上記圧縮機(5),(8)からの高圧冷媒ガスをディスプレーサの往復動により膨張させてヒートステーション(37),(38)に極低温を発生させ、上記JT冷凍機(48)でジュールトムソン膨張する前の冷媒ガスを上記ヒートステーション(37),(38)により予冷する予冷冷凍機(26)と、少なくとも上記JT冷凍機(48)による極低温冷却部分を囲むように配設され、冷却された状態で極低温冷却部分を外部から熱シールドする熱シールド部(S)と、上記圧縮機(5),(8)からの高圧冷媒ガスをディスプレーサの往復動により膨張させてヒートステーション(43)に極低温を発生させ、該ヒートステーション(43)により上記熱シールド部(S)を冷却するシールド冷凍機(40)と、上記複数段のJT熱交換器(51)〜(54)のうちの最高温側のJT熱交換器(51)で冷却された後でかつ予冷冷凍機(26)のヒートステーション(37),(38)で冷却される前の高圧冷媒ガスを上記シールド冷凍機(40)のヒートステーション(43)により冷却する予冷熱交換器(50)とを備えたことを特徴とする極低温冷凍装置。