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J-GLOBAL ID：200903012990714987

焦点検出装置およびこれを備えた顕微鏡、および、焦点検出方法

Inventor： 佐瀬 一郎
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 三品 岩男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002076191
Publication number (International publication number)：2003270524
Application date： Mar. 19, 2002
Publication date： Sep. 25, 2003
Summary：

【要約】【課題】試料に影響を与えにくい焦点検出機構を備えた装置を提供する。【解決手段】エバネッセント光により試料を照明する照明手段15と、試料1によるエバネッセント光の散乱光17を検出する検出手段19とを含む。照明手段15は、試料1を含む溶液2に接する透明部材3に光を入射し、エバネッセント現象を生じさせ、透明部材3から溶液2にエバネッセント光を浸みださせることにより照明する。

Claim (excerpt)：

エバネッセント光により試料を照明する照明手段と、前記試料による前記エバネッセント光の散乱光を検出する検出手段とを含むことを特徴とする焦点検出装置。

IPC (2)：

G02B 7/28 ,  G02B 21/00

FI (2)：

G02B 21/00 ,  G02B 7/11 J

F-Term (23)：

2H051AA11 ,  2H051BA70 ,  2H051CB07 ,  2H051CB14 ,  2H051CC03 ,  2H051CC13 ,  2H051CC14 ,  2H051GB15 ,  2H052AA09 ,  2H052AB02 ,  2H052AB06 ,  2H052AB24 ,  2H052AC04 ,  2H052AC05 ,  2H052AC09 ,  2H052AC12 ,  2H052AC13 ,  2H052AC14 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34 ,  2H052AD03 ,  2H052AD09 ,  2H052AF14