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J-GLOBAL ID：200903012993812513

マトリツクスアレイ基板の製造方法

Inventor： 春原 慶子
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991154343
Publication number (International publication number)：1993002191
Application date： Jun. 26, 1991
Publication date： Jan. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】この発明は、大画面のディスプレイであってもムラの無い均一な表示を得ることが出来るマトリックスアレイ基板の製造方法を提供することを目的とする。【構成】この発明のマトリックスアレイ基板の製造方法は、複数の表示画素及びその各々に電気的に接続した第1の金属層-絶縁体層-第2の金属層の3層構造をなす非線形抵抗素子を基板上に形成する際、第1の金属層を陽極酸化することにより絶縁体層を形成するが、第1の金属層を陽極酸化する際の電流密度が0.1〜0.8mA/cm2 に設定されてなり、上記の目的を達成することが出来る。

Claim (excerpt)：

複数の表示画素及びその各々に電気的に接続した第1の金属層-絶縁体層-第2の金属層の3層構造をなす非線形抵抗素子を基板上に形成する際、上記第1の金属層を陽極酸化することにより上記絶縁体層を形成するマトリックスアレイ基板の製造方法において、上記第1の金属層を陽極酸化する際の電流密度が0.1〜0.8mA/cm2に設定されていることを特徴とするマトリックスアレイ基板の製造方法。