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J-GLOBAL ID：200903013002230321

結晶配向性酸化亜鉛焼結体

Inventor： 隈 公貴 ,  小川 展弘 ,  山本 和明 ,  林 博明 ,  毛利 隆
Applicant, Patent owner： 東ソー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991160743
Publication number (International publication number)：1994340468
Application date： Jun. 06, 1991
Publication date： Dec. 13, 1994
Summary：

【要約】【目的】 スパッタリングタ-ゲットとして有用な酸化亜鉛焼結体を提供する。【構成】 焼結体密度が3.5g/cm3〜5.8g/cm3であり、(101)結晶配向の配向比率が式(1)で示される範囲にある結晶配向性酸化亜鉛焼結体。【化1】【効果】 得られたタ-ゲットは、対向する平行基板上の抵抗分布が著しく低減され広範囲に渡って低抵抗な膜となる。

Claim (excerpt)：

焼結体密度が3.5g/cm3〜5.8g/cm3であり、(101)結晶配向の配向比率が以下の式(1)で示される範囲にある結晶配向性酸化亜鉛焼結体。【化1】

IPC (3)：

C04B 35/00 ,  C23C 14/34 ,  H01B 1/08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭51-016317
  
• 特開平2-149459
  
• 特開昭62-012009