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J-GLOBAL ID：200903013036088044

酸化珪素粉末の製造装置

Inventor： 福岡 宏文 ,  上野 進 ,  福田 健
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 小島 隆司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000027838
Publication number (International publication number)：2001220124
Application date： Feb. 04, 2000
Publication date： Aug. 14, 2001
Summary：

【要約】【解決手段】 内部に原料容器内に収容された二酸化珪素粉末を含む混合原料粉末を不活性ガスもしくは減圧下において1100〜1600°Cに加熱して酸化珪素ガスを生成させる反応室が形成されたマッフルを有する反応炉と、この反応炉内に配設されて上記混合原料粉末を加熱するヒーターと、上記反応室で生成した酸化珪素ガスを、冷却基体が配設されてこの冷却基体に上記酸化珪素ガスを接触させることにより上記冷却基体上に酸化珪素粉末を析出させる析出室に搬送する搬送管とを具備してなり、上記マッフル、原料容器、ヒーター及び搬送管の少なくとも一つが高融点金属、高融点金属の化合物、又は炭化珪素膜で被覆された黒鉛により形成されたことを特徴とする酸化珪素粉末の製造装置。【効果】 本発明の酸化珪素粉末の製造装置によれば、高純度な酸化珪素粉末を効率的かつ安定的に製造することができ、かつ工業的規模の生産にも十分応えられるものである。

Claim (excerpt)：

内部に原料容器内に収容された二酸化珪素粉末を含む混合原料粉末を不活性ガスもしくは減圧下において1100〜1600°Cに加熱して酸化珪素ガスを生成させる反応室が形成されたマッフルを有する反応炉と、この反応炉内に配設されて上記混合原料粉末を加熱するヒーターと、上記反応室で生成した酸化珪素ガスを、冷却基体が配設されてこの冷却基体に上記酸化珪素ガスを接触させることにより上記冷却基体上に酸化珪素粉末を析出させる析出室に搬送する搬送管とを具備してなり、上記マッフル、原料容器、ヒーター及び搬送管の少なくとも一つが高融点金属、高融点金属の化合物、又は炭化珪素膜で被覆された黒鉛により形成されたことを特徴とする酸化珪素粉末の製造装置。

IPC (4)：

C01B 33/113 ,  C23C 16/32 ,  H01M 4/02 ,  H01M 4/48

FI (4)：

C01B 33/113 A ,  C23C 16/32 ,  H01M 4/02 D ,  H01M 4/48

F-Term (21)：

4G072AA38 ,  4G072BB05 ,  4G072GG01 ,  4G072HH14 ,  4G072MM40 ,  4G072RR07 ,  4G072RR21 ,  4G072UU30 ,  4K030BA01 ,  4K030BA12 ,  4K030BA20 ,  4K030BA37 ,  4K030CA05 ,  4K030LA11 ,  5H050AA01 ,  5H050BA08 ,  5H050CB02 ,  5H050GA02 ,  5H050GA15 ,  5H050GA29 ,  5H050HA14