Pat
J-GLOBAL ID：200903013088650077
粒子光学機器の色収差を補正する補正装置
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 忠彦 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1998514424
Publication number (International publication number)：2000500913
Application date： Jul. 09, 1997
Publication date： Jan. 25, 2000
Summary：
【要約】粒子光学回転対称レンズは色収差を避けることができない。このレンズの欠点は、粒子ビームの加速度電圧がかなり低い(0.5kV乃至5kV)場合に、従来の粒子光学機器の解像度を制限する。このレンズの欠点は回転対称性の場を用いた補償によって除去できない。それにも係わらず粒子光学機器の解像度を増加させるため、ウィーンタイプの補正器を用いて上記レンズの欠点を緩和させることが提案されている。かかる従来の構造は多数の電気及び磁気多重極が設けられている。種々の多重極場をより容易に調節するため、本発明によれば、多重極場を左右する磁極面(30-i)は、Kobjが補正されるべき集束レンズの強度を表し、Cc.objがこのレンズの色収差率を表すとき、特定の長さL=(2π2n2)/(Kobj2Cc.obj)を有する。
Claim (excerpt)：
機器内で照射されるべき対象物(14)を照射するため機器の光軸に沿って伝わる荷電粒子のビームを放出する粒子源と、 上記荷電粒子のビームを集束させる集束レンズ(8)と、 上記集束レンズ(8)のレンズ収差を補正する補正装置(28)とからなり、 上記補正装置(28)は均一な電界及び上記電界と直角に延在する均一な磁界を発生させる磁極面(30-i)を有し、両方の双極子場は機器の光軸(4)と直角に延在し、 上記補正装置(28)は電気四重極場を発生させる磁極面(30-i)を更に有し、この磁極面(30-i)は機器の光軸(4)と実質的に直角に延在する粒子光学機器において、 多重極場を決定する上記磁極面(30-i)の上記光軸(4)の方向の長さLに対し、nが上記補正装置内のビームの粒子の正弦波軌跡の周期数を表し、Kobjが補正されるべき上記集束レンズの強度を表し、Cc.objが上記集束レンズの色収差率を表すとき、上記の長さが実質的に (2π2n2)/(Kobj2Cc.obj)と一致することを特徴とする粒子光学機器。
FI (2)：
H01J 37/153 B
, H01J 37/153 Z
