有機薄膜ELデバイスの製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高橋詔男 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998365552
Publication number (International publication number)：2000188179
Application date： Dec. 22, 1998
Publication date： Jul. 04, 2000
Summary：

【要約】【課題】真空蒸着法において、基板上にパターンマスクを使ってマトリクス状に、有機EL材料または電極からなる発光部を数十ミクロンといった微細ピッチで分離形成し得る高精細有機薄膜ELデバイスの製造方法を提供する。【解決手段】真空蒸着装置内で、パターンマスクを装着したパターンマスク移動ステージ8を、フィードバック系を内蔵するデジタル入力指令方式(インクリメンタル指令)によるX軸またはY軸モーター4で位置設定、移動量および速度制御する。

Claim (excerpt)：

基板面上に、有機EL発光材料または電極材料からなる複数の薄膜状の発光部が微細な間隙を隔てて配列された有機薄膜ELデバイスを製造するに際して、パターン加工されたパターンマスクを、パルスモーターにより制御駆動されてパターン面内で互いに直交するX,Y方向にそれぞれ独立に微動し得るパターンマスク移動ステージに装着し、前記基板を、この基板とパターンマスクとの距離および煽り角を調整するZ軸煽り手段と、基板とパターンマスクとの回転角を調整する回転手段と、基板を前記Y軸方向に移動させかつ微調整し得るY軸移動手段とを備えた基板移動ステージに装着し、前記基板とパターンマスクとを間隔をあけて重ね、前記の基板移動ステージを調整して前記基板とパターンマスクとの最初の位置合わせを行い、前記パターンを通して発光部材料を基板面に蒸着し、次いで、前記パターンマスク移動ステージを基板と平行に微動させてパターンマスクのパターンを基板面の非蒸着部に移動した後に発光部材料を基板面に蒸着することにより、基板面上に前記発光部の配列を形成することを特徴とする有機薄膜ELデバイスの製造方法。

IPC (4)：

H05B 33/10 , C23C 14/04 , H01L 21/203 , H05B 33/14

FI (4)：

H05B 33/10 , C23C 14/04 A , H01L 21/203 Z , H05B 33/14 A

F-Term (20)：

3K007AB00 , 3K007BA06 , 3K007CA01 , 3K007CB01 , 3K007DA01 , 3K007DB03 , 3K007EB00 , 3K007FA01 , 4K029BA62 , 4K029BC07 , 4K029CA01 , 4K029HA02 , 5F103AA01 , 5F103BB02 , 5F103BB33 , 5F103BB56 , 5F103DD25 , 5F103GG06 , 5F103HH04 , 5F103RR10

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