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J-GLOBAL ID：200903013102884078
カンチレバー励振装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997068611
Publication number (International publication number)：1998267947
Application date： Mar. 21, 1997
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：
【要約】【課題】簡単な構成によって、カンチレバーを所望の方向に精度良く励振可能であって且つ高い剛性を確保可能なカンチレバー励振装置を提供する。【解決手段】ホルダ2に支持されたカンチレバー4と、このカンチレバーを励振させるアクチュエータ8と、このアクチュエータによって励振しているカンチレバーのたわみ振幅特性及びねじれ振幅特性を夫々検出可能なたわみ振幅検出回路18及びねじれ振幅検出回路22とを備えており、たわみ振幅特性及びねじれ振幅特性に基づいて、アクチュエータを制御することによって、カンチレバーを所定の周波数でたわみ方向及びねじれ方向に同時に励振させる。
Claim (excerpt)：
ホルダに支持されたカンチレバーと、このカンチレバーを励振させる励振手段と、この励振手段によって励振している前記カンチレバーのたわみ振幅特性及びねじれ振幅特性を夫々検出可能な振幅検出系とを備えており、前記たわみ振幅特性及び前記ねじれ振幅特性に基づいて、前記励振手段を制御することによって、所定の周波数で前記カンチレバーをたわみ方向及びねじれ方向に同時に励振させることが可能なカンチレバー励振装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
