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J-GLOBAL ID：200903013118669061
クリーンルームシステム
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
荒井 潤
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998257764
Publication number (International publication number)：2000088306
Application date： Sep. 11, 1998
Publication date： Mar. 31, 2000
Summary：
【要約】【課題】 清浄度の維持が確実にできるとともに、エネルギー効率がよく、メンテナンスやフィルター交換等が容易にでき、騒音を有効に抑制可能なクリーンルームシステムを提供する。【解決手段】 仕切枠5で形成された複数のフィルターチャンバーの各々にフィルター17又は盲パネルを装着して天井3を形成し、この天井内に室内循環空気を送り込んで加圧天井チャンバー19を形成するための送風機7を備えたクリーンルームシステムにおいて、前記フィルターチャンバーの仕切枠5部分を負圧にした。
Claim (excerpt)：
仕切枠で形成された複数のフィルターチャンバーの各々にフィルター又は盲パネルを装着して天井を形成し、この天井内に室内循環空気を送り込んで加圧天井チャンバーを形成するための送風機を備えたクリーンルームシステムにおいて、前記フィルターチャンバーの仕切枠部分を負圧にしたことを特徴とするクリーンルームシステム。
F-Term (2)：
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