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J-GLOBAL ID：200903013128987231

微粒子成分分析装置

Inventor： 植田 敏嗣 ,  若松 宗明
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000158037
Publication number (International publication number)：2001337030
Application date： May. 29, 2000
Publication date： Dec. 07, 2001
Summary：

【要約】【課題】 ブレークダウンの促進を図った微粒子測定装置を提供する。【解決手段】 セル内に微粒子を導入する手段と、セル内の微粒子にレーザ光を照射する手段と、レーザ光の照射によりブレークダウンして発光する微粒子の光を伝送する伝送手段と、伝送手段により伝送された光を分光する分光手段と、分光された光を受光する光検出器を具備し、前記微粒子の大きさや成分を分析する微粒子成分分析装置において、前記セル内にアシストガスを導入する手段を設け微粒子のブレークダウンの促進を図った。

Claim (excerpt)：

セル内に微粒子を導入する手段と、セル内の微粒子にパルスレーザを照射する手段と、パルスレーザの照射によりブレークダウンして発光する微粒子の光を伝送する伝送手段と、伝送手段により伝送された光を分光する分光手段と、分光された光を受光する光検出器を具備し、前記微粒子の大きさや成分を分析する微粒子成分分析装置において、前記セル内にアシストガスを導入する手段を設け微粒子のブレークダウンの促進を図ったことを特徴とする微粒子成分分析装置。

IPC (2)：

G01N 15/14 ,  G01N 21/63

FI (3)：

G01N 15/14 D ,  G01N 15/14 Z ,  G01N 21/63 Z

F-Term (26)：

2G043AA01 ,  2G043CA06 ,  2G043DA05 ,  2G043DA08 ,  2G043EA01 ,  2G043EA10 ,  2G043FA03 ,  2G043GA02 ,  2G043GA04 ,  2G043GA07 ,  2G043GB01 ,  2G043GB03 ,  2G043GB08 ,  2G043GB21 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA05 ,  2G043HA09 ,  2G043JA03 ,  2G043JA04 ,  2G043KA03 ,  2G043KA08 ,  2G043KA09 ,  2G043LA02 ,  2G043MA11 ,  2G043NA04