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J-GLOBAL ID：200903013151133339

高速原子線源

Inventor： 畠山 雅規
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 渡邉 勇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993227993
Publication number (International publication number)：1995055998
Application date： Aug. 20, 1993
Publication date： Mar. 03, 1995
Summary：

【要約】【目的】 エネルギーが低く、粒子線束の高い高速原子線を効率よく放出することのできる高速原子線源を提供する。【構成】 多数の原子放出孔7を有する板状電極21と、前記板状電極にそれぞれ対向して配置された放電部を形成する2個の電極22,28と、該2個の電極間に交流電圧を印加する電源24と、前記板状電極と該対向する電極間に直流電圧を印加する電源29と、前記板状電極及び該2個の電極間に放電を起こすガス5を導入するガス導入部4とから構成される。

Claim (excerpt)：

多数の原子放出孔を有する板状電極と、前記板状電極にそれぞれ対向して配置された放電部を形成する2個の電極と、該2個の電極間に交流電圧を印加する電源と、前記板状電極と該対向する電極間に直流電圧を印加する電源と、前記板状電極及び該2個の電極間に放電を起こすガスを導入するガス導入部とから構成されることを特徴とする高速原子線源。