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J-GLOBAL ID：200903013221235380

固体撮像素子

Inventor： 大橋 正典 ,  二島 修
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 土屋 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992304937
Publication number (International publication number)：1994132515
Application date： Oct. 16, 1992
Publication date： May. 13, 1994
Summary：

【要約】【目的】 暗電流もスメアも少なくして、高品質の画像を得る。【構成】 遮光膜としてのAl膜22がP-SiO膜25に覆われており、段差部26における光27の屈折による光路ずれが無視できる程度にまで膜厚の薄いP-SiN膜24がP-SiO膜25上に積層されて、2層構造のパッシベーション膜が形成されている。P-SiO膜25は、屈折率が低いので、段差部26へ入射した光27を垂直転送レジスタ14側へ屈折させるレンズ作用が小さく、スメアが少ない。しかも、P-SiN膜24は水素を多量に含んでおり、この水素が界面準位を減らすので、暗電流も少ない。

Claim (excerpt)：

水素を含む第1の膜とこの第1の膜よりも屈折率の低い第2の膜との2層構造のパッシベーション膜を有する固体撮像素子。

IPC (3)：

H01L 27/148 ,  H01L 21/318 ,  H04N 5/335