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J-GLOBAL ID：200903013222337704

ガスセンサ

Inventor： 近藤 考司
Applicant, Patent owner： アラコ株式会社
Agent (1)： 長谷 照一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001178918
Publication number (International publication number)：2002372487
Application date： Jun. 13, 2001
Publication date： Dec. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】 圧電振動体を使用したガスセンサにおいて、測定精度を高め、また製造コストを低下させる。【解決手段】 両面に電極11を設けた板状の圧電振動体10の外側を内部にガスを保持するガス保持層15により覆い、ガス保持層の外側をガスを透過させるガス透過膜16によりさらに覆うことによりガスセンサを形成し、圧電振動体の共振周波数の変化を検出することにより、それが置かれた雰囲気中のガスの濃度を検出する。ガス透過膜は水素を選択的に透過させる水素透過膜とするのがよい。また、ガス保持層は絶縁材料よりなるものとするのがよい。

Claim (excerpt)：

両面に電極を設けた板状の圧電振動体の外側を内部にガスを保持するガス保持層により覆い、前記ガス保持層の外側を前記ガスを透過させるガス透過膜によりさらに覆ってなり、前記圧電振動体の共振周波数の変化を検出することにより、前記圧電振動体が置かれた雰囲気中の前記ガスの濃度を検出することを特徴とするガスセンサ。