Pat

J-GLOBAL ID：200903013246550131

加温純水リサイクルシステム

Inventor： 藤江 信夫 ,  五十嵐 三男
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993133730
Publication number (International publication number)：1994349805
Application date： Jun. 04, 1993
Publication date： Dec. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 純水洗浄システムに関し、加温純水をリサイクルするシステム構成を実用化することを目的とする。【構成】 洗浄装置が被処理物の洗浄を行なう内槽の外側に外槽を備え、ポンプにより内槽底部に供給した加温純水を外槽にオーバーフローさせて回収する機構と、回収した洗浄水をフィルタで濾過した後、洗浄過程で消耗した純水の不足分を補給する機構と、補給の終わった洗浄水を必要とする温度にまで加熱する機構と、外槽に赤外線ヒータを、内槽に所定の間隔をおいて積層したシリコンウエハを備え、コック切り換えによりシリコンウエハの再生と純水の精製を順次に行なう機構とから加温純水リサイクルシステムを構成する。

Claim (excerpt)：

再生させた加温純水をコック切り換えにより連続的に供給して被処理物の洗浄を行なう洗浄装置が、被処理物の洗浄を行なう内槽の外側に外槽を備え、内槽底部に供給した加温純水を外槽にオーバーフローさせて回収する機構と、回収した洗浄水をポンプで加圧しフィルタで濾過した後、洗浄過程で消耗した純水の不足分を補給する機構と、補給の終わった洗浄水を必要とする温度にまで加熱する機構と、外槽に赤外線ヒータを、内槽に所定の間隔をおいて積層したシリコンウエハを備え、コック切り換えにより該シリコンウエハの再生と純水の精製を順次に行なう機構と、前記コックの切り換えと加温水の温度調節と水量の調節を行なう制御系と、からなることを特徴とする加温純水リサイクルシステム。

IPC (3)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  C02F 1/00