投影露光装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大森聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993141912
Publication number (International publication number)：1994349712
Application date： Jun. 14, 1993
Publication date： Dec. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】照明光として水銀ランプのような連続光を使用したスリットスキャン露光方式の投影露光装置において、感光材の感度が高くなった場合でも、スループットを低下させず、且つ照度むらを生じさせることなく、露光量制御精度を高く維持する。【構成】水銀ランプ23からの照明光が、回転型可変減光フィルター板27、フライアイレンズ36,38,40、可変開口絞り41、視野絞り49及びメインコンデンサーレンズ51等を経てレチクル12上を照明する。回転型可変減光フィルター板27内のフィルターを切り換えて照明光の光量を離散的に切り換えると共に、離散的な光量の間では、水銀ランプ23の電流Iを所定範囲で変えることにより、照明光の光量を連続的に変化させる。

Claim (excerpt)：

連続的な照明光を発生する光源と、前記照明光でマスク上の所定形状の照明領域を照明する照明光学系と、前記照明領域内の前記マスクのパターンの像を感光材が塗布された基板上に投影する投影光学系とを有し、前記照明領域に対して前記マスクを所定方向に走査し、前記照明領域と共役な露光領域に対して前記基板を所定方向に走査することにより、前記マスクのパターンの像を逐次前記基板上に露光する投影露光装置において、前記光源に供給する電力を制御することにより、前記光源から発生される照明光の光量を所定範囲で連続的に制御する第1の光量制御手段と、前記照明光学系中に配置され、前記照明光に対する減光率を複数の減光率中から選択された減光率に設定することにより、前記照明光の光量を段階的に切り換える第2の光量制御手段と、前記基板に塗布された前記感光材の感度を入力する感度入力手段と、該感度入力手段により入力された前記感光材の感度、前記照明領域と共役な露光領域に対する前記基板の走査速度、及び前記照明領域と共役な露光領域の前記基板の走査方向の幅より前記照明光の光量を算出し、前記第1の光量制御手段及び前記第2の光量制御手段を介して前記照明光の光量を前記算出された光量に設定する演算制御手段と、を有することを特徴とする投影露光装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 , G03B 27/32 , G03F 7/20 521

FI (2)：

H01L 21/30 311 S , H01L 21/30 301 G

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

特開平2-229423
特開平4-196513
特開平4-277612

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