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J-GLOBAL ID：200903013273887946

微小部分の結晶製造法

Inventor： 鈴木 順一 ,  村田 明弘
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Agent (1)： 小沢 信助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991226051
Publication number (International publication number)：1993066313
Application date： Sep. 05, 1991
Publication date： Mar. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】 低温で高品質結晶性のレーザ光導波路を形成する微小部分の結晶製造法を提供することにある。【構成】 母材2の単結晶上に導波路材料3のアモルファス薄膜を形成し、母材結晶(2)上の端部に低融点溶媒4を少量設置し、低融点溶媒4を微小径のレーザビーム5で溶融して母材結晶2及び導波路材料3の不純物を溶出させ、レーザビーム5を移動させて低融点溶媒4を移動させ低温で結晶を成長させる。

Claim (excerpt)：

レーザ光の導波路を形成する微小部分の結晶製造法において、母材(2)の単結晶上に導波路材料(3)のアモルファス薄膜を形成し、該導波路材料(3)のアモルファス薄膜を含む母材(2)結晶上の端部に低融点溶媒(4)を少量設置する段階と、該低融点溶媒(4)を微小径のレーザビーム(5)で溶融して母材(2)結晶及び導波路材料(3)の不純物を溶出させる段階と、前記レーザビーム(5)を移動させて低融点溶媒(4)を移動させる段階とから成ることを特徴とする微小部分の結晶製造法。