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J-GLOBAL ID：200903013275243108

光学フィルムの検査方法及び装置

Inventor： 山口 一喜 ,  竹部 千晶
Applicant, Patent owner： 日本ゼオン株式会社
Agent (1)： 藤本 芳洋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007144389
Publication number (International publication number)：2008298557
Application date： May. 31, 2007
Publication date： Dec. 11, 2008
Summary：

【課題】光学フィルムに生じている欠陥が揮点欠陥を生じさせる欠陥(光学欠陥)であるのか否かを容易に判定できるようにする。【解決手段】光学フィルム1の一方の面側に配置された偏光板3を介して照明光7で照明しつつ、該光学フィルム1の他方の面側に配置された偏光板2を介して撮像し、該撮像結果に基づいて、光学欠陥の有無を判定する。偏光板2と偏光板3とはクロスニコルに配置される。照明光7として、青から緑の波長帯域内にある単波長光を用い、照明光7による露光時間が最適化されている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

光学フィルムの検査方法であって、 前記光学フィルムを照明しつつ撮像する事前撮像工程と、 前記事前撮像工程での撮像結果に基づいて、前記光学フィルムの欠陥部分を特定した上で、前記光学フィルムの一方の面側に配置された第1偏光板を介して照明光で照明しつつ、該光学フィルムの他方の面側に配置された第2偏光板を介して撮像する撮像工程と、 前記撮像工程と、前記事前撮像工程での撮像結果に基づいて、前記光学フィルムの欠陥部分と正常部分とを特定した上で、前記撮像工程で得られた前記欠陥部分の輝度値の差を求めることで、光学欠陥の有無を判定する判定工程とを備えることを特徴とする光学フィルムの検査方法。

IPC (5)：

G01N 21/958 ,  G02B 5/30 ,  G01N 21/88 ,  G01M 11/00 ,  G02F 1/133

FI (5)：

G01N21/958 ,  G02B5/30 ,  G01N21/88 H ,  G01M11/00 T ,  G02F1/13363

F-Term (26)：

2G051AA41 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051AC02 ,  2G051BA04 ,  2G051BA08 ,  2G051BA11 ,  2G051BB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB02 ,  2G051CC07 ,  2G051DA05 ,  2G051EB01 ,  2G086EE10 ,  2H049BA02 ,  2H049BA06 ,  2H049BB03 ,  2H049BC12 ,  2H049BC22 ,  2H091FA11X ,  2H091FA11Z ,  2H091FC30 ,  2H091FD10 ,  2H091LA30