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J-GLOBAL ID：200903013279648170

反射板および露光装置

Inventor： 中井 豊
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 須山 佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997059528
Publication number (International publication number)：1998253977
Application date： Mar. 13, 1997
Publication date： Sep. 25, 1998
Summary：

【要約】【課題】 ランダムな凹凸分布を有する反射板を提供する。【解決手段】 反射板1は、散乱板にコヒーレント光または準コヒーレント光を照射したとき生じるスペックルの強度分布に対応した深さ方向の変位分布を有する凹凸が形成された基材2と、この基材上に形成された反射膜3とを具備している。この反射板1は確率過程により生じるランダムなスペックルパターンと対応した凹凸をその反射面に有しており、凹凸の分布から規則性は排除されているため回折などを生じることなく、所定の角度から入射する入射光を、この入射光に対する正反射角度を中心とする所定の角度範囲にわたって反射光強度が滑らかに連続して分布するように反射することができ、特に反射型液晶表示装置の反射電極に適している。

Claim (excerpt)：

所定の角度から入射する入射光を、この入射光に対する正反射角度で反射光の強度が最大となるように、かつ、前記正反射角度を中心とする所定の角度範囲にわたって前記反射光の強度分布が滑らかに連続するように反射することを特徴とする反射板。

IPC (3)：

G02F 1/1343 ,  G02F 1/1335 520 ,  G09F 9/30 349

FI (3)：

G02F 1/1343 ,  G02F 1/1335 520 ,  G09F 9/30 349 D