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J-GLOBAL ID：200903013291460410

弾性表面波素子用ウエハ及びその作製方法

Inventor： 片岡 明彦
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000296025
Publication number (International publication number)：2002111420
Application date： Sep. 28, 2000
Publication date： Apr. 12, 2002
Summary：

【要約】【課題】 インゴットの状態でウエハ側面部の鏡面研磨加工が容易かつ簡便に行え、しかも高品質なウエハ加工を実現することができる優れた弾性表面波素子用ウエハ及びその作製方法を提供すること。【解決手段】 タンタル酸リチウム単結晶から成るウエハの少なくとも側面が鏡面であるとともに、側面の算術平均粗さ(Ra)が1.5nm以下とする弾性表面波素子用単結晶ウエハとする。

Claim (excerpt)：

タンタル酸リチウム単結晶から成るウエハの少なくとも側面が鏡面であるとともに、該側面の算術平均粗さ(Ra)が1.5nm以下であることを特徴とする弾性表面波素子用ウエハ。

IPC (4)：

H03H 3/08 ,  C30B 29/30 ,  H01L 21/304 611 ,  H03H 9/25

FI (4)：

H03H 3/08 ,  C30B 29/30 B ,  H01L 21/304 611 B ,  H03H 9/25 C

F-Term (11)：

4G077AA02 ,  4G077BC37 ,  4G077CF10 ,  4G077FG11 ,  4G077FG13 ,  4G077HA11 ,  5J097AA31 ,  5J097AA32 ,  5J097GG03 ,  5J097HA01 ,  5J097HA10