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J-GLOBAL ID：200903013296407364
感光性組成物
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991259433
Publication number (International publication number)：1993100429
Application date： Oct. 07, 1991
Publication date： Apr. 23, 1993
Summary：
【要約】【構成】 (a) 一般式(I)又は(II)で示されるビニルエーテル化合物と(b) 活性光線または放射線の照射により分解して酸を発生する化合物と(c) アルカリ可溶性ポリマーを含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。R1-[-O-(R3-O) n -CH=CH2]m (I) R2-[-CO-O-R3-O-CH=CH2]m (II) R1 及びR2 は多価アルコール残基又は多価フェノール残基、R3 は炭素数1〜10の直鎖又は分枝のアルキレン基を示し、nは0又は1、mは2〜6の整数を示す。【効果】 広範囲の波長光に対して高感度である。
Claim (excerpt)：
(a) 一般式(I)又は(II)で示されるビニルエーテル化合物と(b) 活性光線または放射線の照射により分解して酸を発生する化合物と(c) アルカリ可溶性ポリマーを含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。R1-[-O-(R3-O) n -CH=CH2]m (I) R2-[-CO-O-R3-O-CH=CH2]m (II) R1 及びR2 は多価アルコール残基又は多価フェノール残基、R3 は炭素数1〜10の直鎖又は分枝のアルキレン基を示し、nは0又は1、mは2〜6の整数を示す。
IPC (3)：
G03F 7/039 501
, G03F 7/029
, H01L 21/027
