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J-GLOBAL ID：200903013318933081

ポジ型感光性樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法

Inventor： 安藤 雅之 ,  池上 圭 ,  坂寄 勝哉
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 光来出 良彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999365171
Publication number (International publication number)：2001183834
Application date： Dec. 22, 1999
Publication date： Jul. 06, 2001
Summary：

【要約】【課題】 ポリイミド前駆体ではなく、すでに閉環しているが、溶媒可溶のポリイミドを用いた、保存安定性、プロセス適性に優れたポジ型感光性ポリイミドを提供する。【解決手段】 下記一般式(1)【化1】(Xは、四価の有機基、R1 は二価、三価又は四価のジアミンであり且つ、骨格中にスルホン酸基及び/又はスルフィン酸基を樹脂全体の重量の1〜30%含有し、nは3〜800の整数を示す。)で表されるポリイミドと、露光によりアルカリ溶液に可溶となる成分を有する化合物を含み、且つ、アルカリ水溶液、又はアルカリ水溶液と有機溶媒の混合液で現像可能であるポジ型感光性ポリイミドである。

Claim (excerpt)：

下記一般式(1)【化1】(Xは、四価の有機基、R1 は二価、三価又は四価のジアミンであり且つ、骨格中にスルホン酸基及び/又はスルフィン酸基を樹脂全体の重量の1〜30%含有し、nは3〜800の整数を示す。)で表されるポリイミドと、露光によりアルカリ水溶液に可溶となる成分を有する化合物を含み、且つ、アルカリ水溶液、又はアルカリ水溶液と有機溶媒の混合液で現像可能であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (4)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (8)：

2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB42 ,  2H025CB55 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29