Pat

J-GLOBAL ID：200903013322071639

エアーベアリング装置

Inventor： マーティン リー ,  ミッシェル ソガード
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002019447
Publication number (International publication number)：2002319538
Application date： Jan. 29, 2002
Publication date： Oct. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】 積み重なったステージを使わなくても良く、位置決め精度も安定した小型のステージを提供する。【解決手段】 ベアリング装置はリテイナに係合された複数の流体ベアリングからなり、リテイナはモータにより駆動され、別のモータにより駆動されベアリングのモータの速度のおよそ2倍で動くステージのモータに従って動く。

Claim (excerpt)：

ベースと、前記ベースに隣接して配置され前記ベースに対して可動なステージと、前記ベースと前記ステージの間に置かれ前記ベース上に前記ステージを支持し、前記ベースと前記ステージとに対して可動な少なくとも1つの流体ベアリングからなるベアリング装置と、からなるステージ装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  F16C 32/06 ,  G03F 7/20 521 ,  G12B 5/00

FI (5)：

F16C 32/06 C ,  G03F 7/20 521 ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 515 G

F-Term (21)：

2F078BA02 ,  2F078CA02 ,  2F078CA08 ,  2F078CB02 ,  2F078CB12 ,  2F078CB14 ,  2F078CB15 ,  2F078CC11 ,  2F078CC19 ,  3J102AA02 ,  3J102BA15 ,  3J102CA11 ,  3J102EA02 ,  3J102EB03 ,  3J102GA01 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC18 ,  5F046CC20