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J-GLOBAL ID：200903013359990855

難削材のベベリング加工方法

Inventor： 荒井 浩成 ,  前畑 英彦 ,  大工 博之 ,  塚原 正徳 ,  小村 明夫
Applicant, Patent owner： 日立造船株式会社
Agent (1)： 森本 義弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993105761
Publication number (International publication number)：1994315830
Application date： May. 07, 1993
Publication date： Nov. 15, 1994
Summary：

【要約】【構成】 シリコンウエハAの外周エッジ部Bに、主電極2を対向させるとともに容器4内の電解液Dを供給し、主電極2と容器4内に配置された補助電極5との間に電圧を印加させて、主電極2の先端部に発生する放電熱により、外周エッジ部Bを研磨する際に、主電極2の下手側位置に砥石3を配置するとともに、この砥石3側に電解液Dを供給するベベリング加工方法である。【効果】 電解液が外周エッジ部を研磨する砥石側に供給されるため、外周エッジ部以外の表面が電解研磨されるのを防止することができ、また電解研磨と同時に、砥石による機械的研磨も行われるため、ウエハに深い傷がある場合でも、確実に取り除くことができる。

Claim (excerpt)：

回転自在に支持された円板状の難削材の外周エッジ部に、主電極を対向させるとともに容器内に充填された電解液を供給し、かつ主電極と上記容器内の電解液に接触された補助電極との間に電圧を印加させて、主電極の先端部に発生する放電熱により、上記難削材の外周エッジ部を研磨する際に、上記主電極の下手側位置に研磨部材を一体的に配置するとともに、この研磨部材側に上記容器内の電解液を供給することを特徴とする難削材のベベリング加工方法。

IPC (3)：

B23H 3/00 ,  B23H 9/02 ,  H01L 21/304 301