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J-GLOBAL ID:200903013369392883

干渉スペクトル測定による屈折率及び複屈折率の決定方法並びにその決定装置及び決定用情報媒体

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996167063
Publication number (International publication number):1998010041
Application date: Jun. 27, 1996
Publication date: Jan. 16, 1998
Summary:
【要約】【目的】 干渉スペクトル測定による屈折率及び複屈折率の決定方法並びにその決定装置及び決定用情報媒体を提供することを目的とする。【構成】 光源装置と試料台と分光装置がコンピュ-タにより連動して制御されており、試料の複屈折率や屈折率の波長分散曲線が決定される様になっている。
Claim (excerpt):
ある波長域において、厚さL1とL2の透明な物質がそれとは異なる種類の透明な物質に上下から挟まれた2つのサンドイッチ構造の2つの試料である試料1と試料2があり、前記サンドイッチ構造の試料に前記波長域に渡って連続なスペクトルを有する光が照射され干渉スペクトルが得られた場合において、前記干渉スペクトルのピ-クに単波長側から順に整数値nを割り当てることと、さらに適当な整数値mを決めて数1により前記干渉ピ-クの各波長に於けるそれぞれの値の集合F1(λ1)(試料1から得られたもの)とF2(λ2)(試料2から得られたもの)が求まり、前記F1(λ1)とF2(λ2)の値から波長と屈折率の関係を示す式である数3に従うように最小二乗法によって波長分散曲線G1(m1)(試料1から得れれたもの)とG2(m2)(試料2から得られたもの)を適当な整数値m1とm2毎に得ることと、前記波長分散曲線G1(m1)とG2(m2)の各波長における距離の総和が最小となる組み合わせであるG1(mm1)とG2(mm2)(mm1とmm2は整数値)を選び出すことと、選び出された前記波長分散曲線G1(mm1)とG2(mm2)の中間値によって波長と屈折率の関係を示す式である数3を決定することを特徴とする干渉スペクトル測定による屈折率決定方法。
IPC (3):
G01N 21/23 ,  G01J 9/00 ,  G01N 21/45
FI (3):
G01N 21/23 ,  G01J 9/00 ,  G01N 21/45 A
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (6)
  • 複屈折測定装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-053024   Applicant:新王子製紙株式会社
  • 特開平2-159540
  • 特開平2-159540
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