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J-GLOBAL ID:200903013373341363

透明電極板

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 上田 章三
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995088794
Publication number (International publication number):1996262466
Application date: Mar. 22, 1995
Publication date: Oct. 11, 1996
Summary:
【要約】【目的】 薄膜で導電性が高くしかも保存安定性に優れた透明電極板を提供すること。【構成】 この透明電極板は、ガラス基板1と、各々位置整合して電極形状に積層された透明導電膜21、金属薄膜22及透明導電膜23から成る3層構造の透明電極2と、透明電極2を一様に被覆してその表面及び側端面を保護する防湿性透明薄膜3とでその主要部が構成されている。また、上記透明導電膜21及び23はいずれも酸化ジルコニウムが10atom%含まれた酸化インジウムの薄膜で構成され、防湿性透明薄膜3は酸化珪素で構成されている。そして、防湿性透明薄膜の作用により透明導電膜21/金属薄膜22/透明導電膜23の3層が強固に一体化されると共に、上記金属薄膜の表面と側端面の双方が空気中のイオウ化合物や水分から保護されるため、金属薄膜の経時劣化が防止されてその保存安定性が向上する。
Claim (excerpt):
透明基板上に透明電極を備える透明電極板において、上記透明電極が、透明基板上に互いに位置整合して電極形状に積層された厚さ2〜20nmの銀又は銀合金から成る金属薄膜と、この金属薄膜と透明基板との間に設けられた透明導電膜と、上記金属薄膜上に設けられた透明導電膜とで構成され、かつ、この透明電極の表面並びに側端面が電気絶縁性の防湿性透明薄膜により被覆されていることを特徴とする透明電極板。
IPC (3):
G02F 1/1343 ,  C01G 15/00 ,  G09F 9/30 335
FI (3):
G02F 1/1343 ,  C01G 15/00 B ,  G09F 9/30 335 E
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
  • 特開昭63-110507
  • 特開平2-037326
  • 特開平4-340522
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