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J-GLOBAL ID：200903013376577899

ウエハ異物検査装置

Inventor： 中村 寿人 ,  谷内 俊明 ,  細江 卓朗
Applicant, Patent owner： 日立電子エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 梶山 佶是 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993109809
Publication number (International publication number)：1994302676
Application date： Apr. 14, 1993
Publication date： Oct. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 構造が簡単になり容易にウエハの中心出しができるウエハ異物検査装置を提供することにある。【構成】 外周側がテーブルより外側にはみ出してテーブルに載置されたウエハの前記はみ出した外周部分の裏面側に隣接してウエハの下側に鏡を設け、この鏡により落射光を反射させてウエハの周辺部の映像を採取するものである。

Claim (excerpt)：

外周側がテーブルより外側にはみ出して載置されたウエハの外周位置を検出してウエハの位置決めを行うウエハ異物検査装置において、前記ウエハの上部に配置された対物光学系と、この対物光学系から得られる映像を電気信号に変換して映像データを生成する画像処理装置と、前記はみ出した外周部分の裏面側に隣接してウエハの下側に設けられた鏡とを備え、この鏡により前記対物光学系から受けた落射光を反射させ、前記ウエハの周辺部の映像を前記対物光学系を介して得て、前記画像処理によりウエハの外周エッジ部分の前記映像データから前記ウエハの中心位置を算出して前記ウエハの位置決めをすることを特徴とするウエハ異物検査装置。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/66