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J-GLOBAL ID：200903013382338227
外観検査方法及び装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995057781
Publication number (International publication number)：1996254501
Application date： Mar. 16, 1995
Publication date： Oct. 01, 1996
Summary：
【要約】【目的】 検査装置における従来までの判定アルゴリズムでは、判定基準の作成に当って経験的要素の占める割合が大きく、多大な労力と時間を必要とした。さらに誤判別された検査対象のデータを次回からの検査に応用することが困難であった。そこで、統計学的な手法を使用することにより、大量のデータを用いて効率的に最適な判定が行えるような基準を作成することを目的とする。【構成】 検査装置に通常の検査モードとティーチングモードとを設置する。ティーチングモードで、前処理としてサンプルデータにより判別分析を用いて判定基準を作成する。次に、検査モードに移りその判定基準により検査を行う。ここで、誤判定を生じる部品については、教示を行ないサンプルデータに追加し再度判定基準を作成する。
Claim (excerpt)：
被検査対象を撮像する撮像装置を設け、該撮像装置により、被検査対象の反射光を取り込み、検査対象の画像を構成する各画素に検査対象の状態を示すコードを生成する外観検査装置において、前記状態を示すコードより前記被検査対象の状態を示す複数個の指標を作成し、ティーチングモードにおいてあらかじめ決められた検査対象を選別するためのカテゴリーに従い、当該カテゴリーの各々に属するべき指標値を教示することにより、該指標を基にして前記カテゴリー間を分離する判別関数を求めることを特徴とする外観検査方法。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 21/88 F
, G01B 11/24 C
