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J-GLOBAL ID：200903013388553634

液晶表示装置及びその製造方法

Inventor： 西村 悦子 ,  鬼沢 賢一 ,  茶原 健一 ,  佐藤 健史
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995186814
Publication number (International publication number)：1997033949
Application date： Jul. 24, 1995
Publication date： Feb. 07, 1997
Summary：

【要約】【構成】薄膜トランジスタ素子,画素電極,配線、及び引出し電極を構成する複数の薄膜のうちの少なくとも一種類の薄膜のパターニング端部の段差形状を、異なる角度を有する複数の段差を膜厚方向に積層する。段差の角度はいずれも90度以下の順テーパであり、かつ、薄膜の表面側に行くに従って角度がゆるやかになるように積層し、基板との界面で薄膜のパターニング端部断面と基板とがなす伏角の角度が、薄膜表面で薄膜のパターニング端部断面と薄膜表面に水平な面とがなす仰角の角度よりも常に大きい角度となる。【効果】薄膜トランジスタ素子,画素電極,配線、及び引出し電極を構成する薄膜のパターニング端部の段差形状が改善され、これらの薄膜が関与する段差部分での上層膜の付周りが確保されるため、上層膜の断線,短絡不良を低減でき、歩留まりのよい液晶表示装置が得られる。

Claim (excerpt)：

絶縁基板の一主面上の少なくとも一部に薄膜トランジスタ素子,前記薄膜トランジスタ素子に接続した画素電極,配線、及び外部駆動回路との接続のための端子を設けてなる絶縁基板と、前記絶縁基板の一主面上の少なくとも一部に対向電極を設けてなる絶縁基板を、互いの一主面側が対向するように向い合わせて得られる間隙に液晶を挟持した構造の液晶表示装置において、前記薄膜トランジスタ素子,画素電極,配線、及び端子を構成する複数の薄膜のうち、少なくとも一種類の薄膜のパターニング端部の段差形状が、異なる角度を有する複数の段差を膜厚方向に積層した構造で構成されていることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (4)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1343 ,  G02F 1/1345

FI (4)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1343 ,  G02F 1/1345