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J-GLOBAL ID：200903013416454612

ダイヤモンドライクカーボン膜の成膜法および成膜装置

Inventor： 平松 健司 ,  太田 努
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 田澤 博昭 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995021958
Publication number (International publication number)：1996217596
Application date： Feb. 09, 1995
Publication date： Aug. 27, 1996
Summary：

【要約】【目的】 剥離しにくく付着力の高いダイヤモンドライクカーボン膜(DLC膜)を基材に形成するDLC膜の成膜法および成膜装置を得ることを目的とする。【構成】 DLC膜と線膨脹係数差の大きい基材にDLC膜を形成する成膜法において、基材表面温度が一定になるまで基材をプラズマ洗浄工程41と、RF供給を停止しないで洗浄用ガスと成膜反応ガス交換工程43と、基材上にプラズマCVD法によりDLC膜形成工程42を備え、これらの工程41,43,42において自己バイアスと放電電流の積は一定である。基材表面温度が一定に保たれるので剥離が防止できる。

Claim (excerpt)：

基材表面温度が一定になるまで基材の表面をプラズマ洗浄するプラズマ洗浄工程と、プラズマ洗浄された前記基材上にプラズマCVD法によりダイヤモンドライクカーボン膜を形成する膜形成工程とを備えたダイヤモンドライクカーボン膜の成膜法。

IPC (4)：

C30B 29/04 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  C30B 25/02

FI (4)：

C30B 29/04 B ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  C30B 25/02 P