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J-GLOBAL ID：200903013431596474

走査型電子顕微鏡

Inventor：
小沢 康彦

About 小沢 康彦


Applicant, Patent owner：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

About 株式会社日立ハイテクノロジーズ


Agent (2)： 井上 学 ,  戸田 裕二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007202458
Publication number (International publication number)：2009037939
Application date： Aug. 03, 2007
Publication date： Feb. 19, 2009
Summary：
【課題】 本発明は、半導体パターンやコンタクトホールの変形や側壁の傾斜のできばえを判定することができる走査型電子顕微鏡を提供することを目的とする。【解決手段】 半導体ウェーハ上に形成された回路パターンの画像をあらかじめ設定された条件で撮像する撮像手段、該撮像手段で撮像された画像と予め記憶された基準画像とを比較して撮像された画像の特徴量を算出する算出手段,該算出手段で算出された特徴量に基づいて、半導体ウェーハのできばえ評価を実行するコンピュータを備え、特徴量の算出は、2次電子画像,反射電子画像に関して独立に行われる。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
半導体ウェーハ上に形成された回路パターンの画像をあらかじめ設定された条件で撮像する撮像手段、該撮像手段で撮像された画像と予め記憶された基準画像とを比較して前記撮像された画像の特徴量を算出する算出手段、該算出手段で算出された前記特徴量に基づいて、前記半導体ウェーハのできばえ評価を実行するコンピュータを備え、前記特徴量の算出は、2次電子画像,反射電子画像に関して独立に行われることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
IPC (5)：
H01J 37/22 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66 ,  G01N 23/225 ,  G01B 15/04
FI (5)：
H01J37/22 502H ,  H01J37/28 B ,  H01L21/66 J ,  G01N23/225 ,  G01B15/04 K
F-Term (41)：
2F067AA13 ,  2F067AA33 ,  2F067AA53 ,  2F067BB04 ,  2F067CC15 ,  2F067CC17 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067KK08 ,  2F067QQ02 ,  2F067RR12 ,  2F067RR35 ,  2F067RR42 ,  2F067RR44 ,  2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001BA15 ,  2G001BA30 ,  2G001CA03 ,  2G001DA06 ,  2G001FA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001HA13 ,  2G001JA11 ,  2G001JA16 ,  2G001KA03 ,  2G001KA20 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001QA01 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA39 ,  4M106DB02 ,  4M106DB05 ,  4M106DB18 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  5C033UU05
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (5)
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