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J-GLOBAL ID：200903013454509439

磁気軸受装置を備える回転機械

Inventor： 川島 敏明
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 松下 義治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000347708
Publication number (International publication number)：2002147454
Application date： Nov. 15, 2000
Publication date： May. 22, 2002
Summary：

【要約】【課題】 能動型磁気軸受装置を備える回転機械において、磁気軸受から或る程度離れた場所の振動を低減すること。【解決手段】 能動型磁気軸受装置を備える回転機械において、利用装置と前記回転機械との接続部に振動センサ27を設置し、この振動センサ27からの振動信号に基づいて位置補正指令発生回路28により位置補正指令信号を発生させ、この位置補正指令信号を前記能動型磁気軸受装置の磁気軸受制御回路10の位相補償回路の入力側に加えて振動フィードバック制御を行い、前記振動を打消すように構成した。又は、振動センサ27からの振動信号に基づいて力補正指令発生回路28により力補正指令信号を発生させ、この力補正指令信号を前記能動型磁気軸受装置の磁気軸受制御回路10の位相補償回路の出力側に加えて振動フィードバック制御を行い、前記振動を打消すように構成した。

Claim (excerpt)：

少なくとも一対の電磁石を備えたステータ、前記電磁石の磁気吸引力の平衡によって空中に保持されるロータ、前記ロータの位置を検出する位置センサとからなる磁気軸受と、前記位置センサからの位置信号に基づいてロータを定位置に戻すように前記電磁石の励磁電流を制御する磁気軸受制御回路とから構成された磁気軸受装置を備える回転機械において、利用装置と前記回転機械との接続部に振動センサを設置し、前記振動センサからの振動信号に基づいて位置補正指令信号を発生させ、これを前記磁気軸受制御回路の位相補償回路の入力側に加えて振動フィードバック回路を形成し、前記振動を打消すようにしたことを特徴とする磁気軸受装置を備える回転機械。

IPC (5)：

F16C 32/04 ,  F04D 19/04 ,  F04D 29/04 ,  F16F 15/03 ,  G05D 19/02

FI (7)：

F16C 32/04 A ,  F04D 19/04 A ,  F04D 19/04 H ,  F04D 29/04 M ,  F04D 29/04 P ,  F16F 15/03 J ,  G05D 19/02 D

F-Term (26)：

3H022AA01 ,  3H022BA06 ,  3H022CA16 ,  3H022DA09 ,  3H022DA11 ,  3H031DA02 ,  3H031EA07 ,  3H031EA12 ,  3H031FA13 ,  3J048AB08 ,  3J048AB15 ,  3J048CB22 ,  3J048EA08 ,  3J102AA01 ,  3J102BA03 ,  3J102BA19 ,  3J102CA02 ,  3J102DA02 ,  3J102DA03 ,  3J102DA09 ,  3J102DB05 ,  3J102DB10 ,  3J102DB11 ,  3J102DB18 ,  3J102DB37 ,  3J102GA06