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J-GLOBAL ID：200903013457746571

表面欠陥検査装置

Inventor： 松本 勝
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996022702
Publication number (International publication number)：1997218162
Application date： Feb. 08, 1996
Publication date： Aug. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】標本が一部に透明部分を有するものでも、常にその表面の欠陥を正確に検出する。【解決手段】標本面24に光を照射し、その反射光をCCDカメラ32を含む観察系で得て画像処理することにより標本面24での欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、上記標本面24位置で標本(35)をその裏面周辺部で保持する保持部分を除いて上記標本(35)の対応部分を中空構造としたホルダ28と、このホルダ28を挟んで上記観察系の反対側で且つ上記観察系の焦点深度範囲外に配置された反射防止板34とを備える。

Claim (excerpt)：

標本に光を照射し、その反射光を観察系で得て画像処理することにより該標本表面の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、上記標本をその裏面周辺部で保持する保持部分を除いて上記標本の対応部分を中空構造としたホルダと、このホルダを挟んで上記観察系の反対側で且つ上記観察系の焦点深度範囲外に配置された反射防止板とを具備したことを特徴とする表面欠陥検査装置。