表示装置用アレイ基板の製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：蔦田璋子 (外3名) , 蔦田璋子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001083585
Publication number (International publication number)：2002280567
Application date： Mar. 22, 2001
Publication date： Sep. 27, 2002
Summary：

【要約】【課題】同一個所で樹脂層間絶縁膜5とゲート絶縁膜15とを貫くコンタクトホール51,16が形成された平面表示装置用アレイ基板の製造方法において、製造工程数を少なくすることができ、これにより、製造コストの低減および製造効率の向上を図ることができるものを提供する。【解決手段】ゲート絶縁膜15を窒化シリコン膜のみから形成しておく。樹脂層間絶縁膜5のパターンを露光及び現像の操作を経て作成した後に、樹脂層間絶縁膜5のパターンをマスクとして、誘導結合プラズマエッチングにより、ゲート絶縁膜15を貫くコンタクトホール16を作成する。この際、ゲート絶縁膜15のサイドエッチングが発生しない低圧(0.13〜1.3Pa(1〜10mTorr))とするとともに、酸素を含まないエッチングガス(SF6/N2/He)を用いる。また、樹脂層間絶縁膜5を貫く他のコンタクトホール52,53の個所での金属層表面の浸食を最小限に抑えるようにする。

Claim (excerpt)：

絶縁基板上に複数本の走査線、ゲート電極及び外周部を含む第1配線層パターンを形成する工程と、この第1配線層パターンを覆うゲート絶縁膜を形成した後、前記走査線に略直交する信号線、ソース電極、及びドレイン電極を含む第2配線層パターンを形成する工程と、前記ゲート絶縁膜を貫いて前記外周部の少なくとも一部を露出させるコンタクトホールを形成するコンタクトホール形成工程と、前記第2配線層パターンを、直接、または窒化シリコンからなる無機層間絶縁膜を介して覆い、少なくとも前記ソース電極の一部を露出させる、樹脂層間絶縁膜のパターンを形成する工程と、前記ソース電極と電気的に接続される画素電極を含む導電層パターンを形成する工程とを含む表示装置用アレイ基板の製造方法において、前記ゲート絶縁膜が窒化シリコン層のみからなり、前記コンタクトホール形成工程が、前記樹脂層間絶縁膜のパターンをマスクとする、反応性ガスプラズマを利用したエッチングにより行われ、このエッチングの際には、酸素を含まない反応性ガスが用いられるとともに、エッチング室内のガス圧が0.13〜1.3Paに保たれ、また、前記ソース電極の表層金属に対する前記ゲート絶縁膜のエッチング速度比が5以上であることを特徴とする表示装置用アレイ基板の製造方法。

IPC (8)：

H01L 29/786 , H01L 21/336 , G02F 1/1368 , G09F 9/00 338 , G09F 9/00 342 , G09F 9/30 348 , H01L 21/3065 , H01L 21/768

FI (8)：

G02F 1/1368 , G09F 9/00 338 , G09F 9/00 342 Z , G09F 9/30 348 A , H01L 29/78 612 D , H01L 21/302 A , H01L 21/90 A , H01L 29/78 619 A

F-Term (110)：

2H092GA29 , 2H092JA24 , 2H092JA34 , 2H092JA37 , 2H092JA41 , 2H092JA46 , 2H092KB25 , 2H092MA07 , 2H092MA08 , 2H092MA12 , 2H092MA18 , 2H092MA19 , 2H092NA27 , 2H092NA29 , 2H092PA08 , 5C094AA42 , 5C094AA43 , 5C094AA44 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA15 , 5C094EA04 , 5C094EA07 , 5C094EB02 , 5C094JA08 , 5F004AA16 , 5F004BA20 , 5F004CA02 , 5F004DA00 , 5F004DA01 , 5F004DA02 , 5F004DA03 , 5F004DA15 , 5F004DA16 , 5F004DA17 , 5F004DA18 , 5F004DA19 , 5F004DA20 , 5F004DA22 , 5F004DA25 , 5F004DB07 , 5F004EA03 , 5F004EB01 , 5F004EB03 , 5F033GG04 , 5F033HH38 , 5F033JJ38 , 5F033KK10 , 5F033KK20 , 5F033KK22 , 5F033MM05 , 5F033MM08 , 5F033NN32 , 5F033QQ13 , 5F033QQ15 , 5F033QQ28 , 5F033QQ34 , 5F033QQ37 , 5F033QQ74 , 5F033RR06 , 5F033RR21 , 5F033RR27 , 5F033VV15 , 5F033XX34 , 5F110AA16 , 5F110AA26 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110EE14 , 5F110EE44 , 5F110FF03 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG25 , 5F110GG45 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK22 , 5F110HK25 , 5F110HK33 , 5F110HK35 , 5F110HL03 , 5F110HL06 , 5F110HL14 , 5F110NN03 , 5F110NN04 , 5F110NN05 , 5F110NN14 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN35 , 5F110NN36 , 5F110NN72 , 5F110NN73 , 5F110QQ04 , 5F110QQ09 , 5G435AA17 , 5G435BB12 , 5G435CC09 , 5G435HH14 , 5G435KK05 , 5G435KK09 , 5G435KK10

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