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J-GLOBAL ID：200903013501421782

半導体装置およびその製造方法

Inventor： 藤澤 雅彦 ,  森 健壹 ,  堤 聡明
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 宮田 金雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000392639
Publication number (International publication number)：2002198520
Application date： Dec. 25, 2000
Publication date： Jul. 12, 2002
Summary：

【要約】【課題】 半導体集積回路が微細化されても、コンタクト層と金属シリサイド膜との界面の接触抵抗を低減することができ、高速化に適した半導体装置およびその製造方法を得ることを目的とする。【解決手段】 ソース・ドレイン領域およびゲート電極の表面に形成された金属シリサイド膜の表面に、ソース・ドレイン領域と逆導電型の不純物領域を形成する。

Claim (excerpt)：

半導体基板の主表面に分離絶縁膜に囲まれて配設された第1導電型の第1の活性領域と、前記第1の活性領域の主表面に所定の距離を隔てて形成された第2導電型の第1のソース領域およびドレイン領域と、前記第1のソース領域およびドレイン領域に挟まれる領域と対向するように前記第1の活性領域の主表面上にゲート絶縁膜を介在して形成された第1のゲート電極と、前記第1のソース領域およびドレイン領域表面に、前記第1のソース領域およびドレイン領域よりも浅く形成された金属シリサイド層および第1導電型の不純物領域と、前記第1のソース領域およびドレイン領域にそれぞれ接続する配線とを備えた半導体装置。

IPC (9)：

H01L 29/78 ,  H01L 21/336 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/768 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 27/092 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/8242

FI (10)：

H01L 21/28 301 D ,  H01L 21/28 301 S ,  H01L 29/78 301 Y ,  H01L 21/90 C ,  H01L 27/08 321 F ,  H01L 27/08 321 B ,  H01L 27/08 321 K ,  H01L 27/08 321 E ,  H01L 27/10 621 A ,  H01L 29/78 301 P

F-Term (125)：

4M104BB01 ,  4M104BB14 ,  4M104BB20 ,  4M104BB21 ,  4M104BB25 ,  4M104BB40 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD04 ,  4M104DD08 ,  4M104DD16 ,  4M104DD19 ,  4M104DD26 ,  4M104DD43 ,  4M104DD64 ,  4M104DD80 ,  4M104DD84 ,  4M104EE09 ,  4M104EE17 ,  4M104FF13 ,  4M104FF14 ,  4M104FF18 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG16 ,  4M104GG19 ,  4M104HH16 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH33 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ33 ,  5F033KK01 ,  5F033KK04 ,  5F033KK25 ,  5F033KK28 ,  5F033MM07 ,  5F033NN03 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033PP09 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ16 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ25 ,  5F033QQ31 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ58 ,  5F033QQ59 ,  5F033QQ65 ,  5F033QQ76 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR13 ,  5F033RR14 ,  5F033RR15 ,  5F033SS04 ,  5F033TT08 ,  5F033VV06 ,  5F033VV16 ,  5F033XX09 ,  5F040DA10 ,  5F040DB03 ,  5F040DC01 ,  5F040EA08 ,  5F040EC01 ,  5F040EC02 ,  5F040EC04 ,  5F040EC07 ,  5F040EC13 ,  5F040EC26 ,  5F040EE05 ,  5F040EF02 ,  5F040EH02 ,  5F040EH05 ,  5F040EH07 ,  5F040EK05 ,  5F040EL03 ,  5F040EM01 ,  5F040FA05 ,  5F040FB02 ,  5F040FB04 ,  5F040FC10 ,  5F040FC19 ,  5F048AA00 ,  5F048AA01 ,  5F048AB01 ,  5F048AB03 ,  5F048AC03 ,  5F048AC10 ,  5F048BB06 ,  5F048BB07 ,  5F048BB08 ,  5F048BB12 ,  5F048BB14 ,  5F048BB16 ,  5F048BC05 ,  5F048BC06 ,  5F048BD04 ,  5F048BE02 ,  5F048BE03 ,  5F048BF06 ,  5F048BF07 ,  5F048BF15 ,  5F048BF16 ,  5F048BG14 ,  5F048DA25 ,  5F048DA27 ,  5F048DA30 ,  5F083AD22 ,  5F083GA02 ,  5F083JA32 ,  5F083JA35 ,  5F083JA40 ,  5F083MA06 ,  5F083MA17 ,  5F083PR21 ,  5F083PR34 ,  5F083PR36 ,  5F083ZA12