表示パネル及びその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：杉村次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998177993
Publication number (International publication number)：1999354810
Application date： Jun. 11, 1998
Publication date： Dec. 24, 1999
Summary：

【要約】【課題】スイッチング素子として薄膜トランジスタを備えた液晶表示パネルにおいて、ドレイン側及びソース側のN型半導体膜とその各上に形成されるドレイン電極及びソース電極との間のコンタクト抵抗を小さくする。【解決手段】 N型アモルファスシリコンからなるN型半導体膜27D、27Sとその各上に形成されたAl系金属膜31からなるドレイン電極及びソース電極との間には良質のCrシリサイド膜29D、29S及びCr膜28D、28Sが形成されている。この場合、レジスト膜33D、33Sを剥離した後に、保護用Cr膜32をウェットエッチングにより剥離するが、Cr膜28Sの端面をAl系金属膜31からなるソース電極で覆っているので、Cr膜28Sのサイドエッチングを防止することができる。

Claim (excerpt)：

薄膜トランジスタ及び該薄膜トランジスタのソース電極に接続された画素電極を備えた表示パネルにおいて、前記薄膜トランジスタは、ゲート電極と、該ゲート電極上に設けられたゲート絶縁膜と、該ゲート絶縁膜上のデバイスエリアに設けられた半導体膜と、該半導体膜上のドレイン側に設けられたN型半導体膜、シリサイド膜及びドレイン電極と、前記半導体膜上のソース側に設けられたN型半導体膜、シリサイド膜及びソース電極とによって構成されていることを特徴とする表示パネル。

IPC (2)：

H01L 29/786 , G02F 1/136 500

FI (2)：

H01L 29/78 616 U , G02F 1/136 500

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

特開平2-234126
液晶表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-177941 Applicant：株式会社日立製作所

Cited by examiner (2)

特開平2-234126
液晶表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-177941 Applicant：株式会社日立製作所

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