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J-GLOBAL ID：200903013516693517
イオン源装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
藤田 龍太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996037412
Publication number (International publication number)：1997213227
Application date： Jan. 30, 1996
Publication date： Aug. 15, 1997
Summary：
【要約】【課題】 イオンビームの電流密度の分布を補正できるようにする。【解決手段】 電離用ガスの導入口5が形成され,プラズマ12を生成する筐体1と、プラズマ12よりイオンビームを引き出す複数個の引出孔を形成した多孔式電極7とを備えたイオン源装置において、複数種類の孔径の引出孔13を前記電極7に形成する。
Claim (excerpt)：
電離用ガスの導入口が形成され,プラズマを生成する筐体と、前記プラズマよりイオンビームを引き出す複数個の引出孔を形成した多孔式電極とを備えたイオン源装置において、複数種類の孔径の引出孔を前記電極に形成したイオン源装置。
IPC (2)：
FI (2)：
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