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J-GLOBAL ID：200903013529235127
傾斜器
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
門奈 清
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992319193
Publication number (International publication number)：1994132384
Application date： Oct. 16, 1992
Publication date： May. 13, 1994
Summary：
【要約】【目的】 本発明は、微少の角度を正確かつ確実にしかもXYの2方向に傾斜できる傾斜器を提供することを目的とする。【構成】 テーブル5の下面を球面状に形成し、台座4にもテーブル5の形状に合わせて球面状の湾曲部を形成し、テーブル5を傾斜自在に載せる。台板3の上に送りねじ11を2方向から設け、それぞれの送りねじ11に移動部材12を噛み合わせる。移動部材12に連結部材15を水平方向に移動可能に取り付け、かつこの連結部材15を屈曲、回動にし他端をテーブル5に取り付ける。このように構成したことにより、両方向の送りねじ11を適宜に回動させることにより任意に角度XYの両方向にテーブル5を傾斜させることができる。
Claim (excerpt)：
球面状の湾曲部を設けた台座上面にテーブルを前記湾曲部上にて摺動自在に取り付け、当該テーブルに向けて直交する2方向から送りねじを設け、各送りねじにそれぞれ移動部材をかみ合わせてこの送りねじの回動により前後動自在にし、連結部材を移動部材に当該移動部材が噛み合う送りねじと異なる送りねじと平行な方向に移動可能に取り付け、これら連結部材の他端をそれぞれ前記テーブルに連結し、各々の連結部材の中央部分を軸回りに回動自在にするとともに当該回動自在部分の両端を当該連結部材の移動方向と直交する方向に屈曲自在にしてなることを特徴とする傾斜器。
IPC (4)：
H01L 21/68
, B23Q 1/02
, B24B 9/06
, H01L 21/304 301
