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J-GLOBAL ID：200903013555472994

プラズマ発生装置及びこれを用いた表面清掃方法

Inventor： 野間 彰 ,  山下 一郎
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 高橋 昌久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000154993
Publication number (International publication number)：2001332399
Application date： May. 25, 2000
Publication date： Nov. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】 電極およびその周辺の温度を高温プラズマ流が常時正常に生成されるとともに、電極の過熱の発生による焼損を回避できる適正温度に保持できるプラズマ発生装置及びこれを用いた表面清掃方法を提供する。【解決手段】 陰極の電極と、該電極を囲み作動流体室が内部に形成された陽極のノズルとの間に発生させたアークにより作動流体を媒体としてプラズマ流を生成するプラズマ発生装置において、ノズルの外部に水蒸気発生装置を設け、ノズルの内部には、水蒸気発生装置で生成された水蒸気を作動流体室に導く水蒸気通路を設けてなることを特徴とする。また、前記プラズマ発生装置を、被清掃表面に近接させて、プラズマ流を前記被清掃表面に吹き付け、該表面に付着した異物を除去する。

Claim (excerpt)：

【請求項1】 陰極に保持された電極と、該電極を囲み作動流体が流動する作動流体室が内部に形成されて陽極に保持されたノズルとの間にアークを発生させ、該アークにより前記作動流体を媒体としてプラズマ流を生成するプラズマ発生装置において、前記ノズルの外部に水蒸気を発生させる水蒸気発生装置を設け、前記ノズルの内部には、前記水蒸気発生装置に接続され該水蒸気発生装置で生成された水蒸気を前記作動流体室に導く水蒸気通路を設けてなることを特徴とするプラズマ発生装置。

IPC (5)：

H05H 1/42 ,  B08B 3/08 ,  B08B 7/04 ,  F27D 11/08 ,  H05H 1/34

FI (5)：

H05H 1/42 ,  B08B 3/08 Z ,  B08B 7/04 Z ,  F27D 11/08 E ,  H05H 1/34

F-Term (21)：

3B116AA46 ,  3B116AB51 ,  3B116BB11 ,  3B116BB22 ,  3B116BB32 ,  3B116BB88 ,  3B116BB89 ,  3B116BC01 ,  3B201AA46 ,  3B201AB51 ,  3B201BB13 ,  3B201BB22 ,  3B201BB32 ,  3B201BB88 ,  3B201BB89 ,  3B201BB92 ,  3B201BB98 ,  3B201BC01 ,  4K063AA04 ,  4K063AA12 ,  4K063FA52