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J-GLOBAL ID:200903013566206536

コート材の膜厚測定方法および装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 青山 葆 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992277053
Publication number (International publication number):1994129817
Application date: Oct. 15, 1992
Publication date: May. 13, 1994
Summary:
【要約】【目的】 基材にコーティングを施した被測定物について、そのコート厚みを正確に測定する。【構成】 第1、第2測定波長λ12および少くとも1つの参照波長λ3について基材のみ吸光度A10,A20,A30を予め測定し、基材の厚みに無関係な補正係数k[=(A10-A30)/(A20-A30)]を求めておき、被測定物について測定した吸光度A1,A2,A3からコート材の吸光度AをA=A1-A3-k(A2-A3)によって求め、これを厚みに換算して厚みを検出する。【効果】 基材の厚みの変動や赤外線のコーティングによるしみ込み深さの変動等に影響されることなしに精度の高い測定が可能となる。
Claim (excerpt):
基材にコーティングを施した被測定物のコート材の膜厚を測定するに際して、コート材および基材の両方に赤外線吸収がある波長λ1を有する第1測定光と、基材のみに赤外線吸収がある波長λ2を有する第2測定光と、コート材には赤外線吸収がなく基材について赤外線吸収が小さいかない波長λ3を有する参照光とを用いて、基材のみの吸光度A10,A20,A30を予め測定して、補正係数kを次式により算出しておき、k=(A10-A30)/(A20-A30)被測定物についてλ123での吸光度A1,A2,A3を測定し、これら測定値から次式によりコート材のみの吸光度Aを演算し、A=A1-A3-k(A2-A3)求めた吸光度Aを厚みに換算してコート材を膜厚を求めるようにしたコート材の膜厚測定方法。

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