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J-GLOBAL ID：200903013567389820

磁気ヘッド

Inventor： 稲葉 宏 ,  天辰 篤志 ,  遠藤 正義 ,  斉藤 翼生
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997147540
Publication number (International publication number)：1998340438
Application date： Jun. 05, 1997
Publication date： Dec. 22, 1998
Summary：

【要約】【課題】さらなるダウンサイジング化が行われた磁気ヘッドにおいても、スライダー表面に凸部を容易に形成可能とする手段を提供する。【解決手段】本発明は上記目的を達成するために、磁気ヘッドのスライダ基板のヤング率とスライダ用基板厚さの二乗値の積が35280N以下とすることを特徴としており、例えばスライダ基板としてAl2O3・TiCを適用した場合は、スライダ用基板厚さを300μm以下とし、スライダ面上に40GPa以上のヤング率を持つ炭化水素系保護膜1〜20nmを形成することにより、機械的に凸部を形成する工程をなくし、薄膜自身による圧縮応力によって凸部形成を可能とする。

Claim (excerpt)：

磁気ヘッドのスライダ面に40GPa以上の圧縮応力を持つ炭化水素系保護膜を形成することにより、該薄膜による圧縮応力によってスライダ面上に凸部を形成したことを特徴とする磁気ヘッド。

IPC (2)：

G11B 5/60 ,  G11B 21/21 101

FI (2)：

G11B 5/60 Z ,  G11B 21/21 101 K