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J-GLOBAL ID：200903013622836904

角速度センサ及びその製造方法

Inventor： 山下 光洋
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 岡本 宜喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998037621
Publication number (International publication number)：1999237247
Application date： Feb. 19, 1998
Publication date： Aug. 31, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】小型の振動式角速度センサを提供する。【解決手段】単結晶シリコン基板の異方性エッチング特性を利用し、矩形断面を有し各々直交する主面を有する2種類の検出用梁103、駆動用梁104を形成して、その複合体で錘102を支持する振動体を構成する。錘の中央とその端面部分に電極を有するガラス111,121で振動体を挟み込み、錘102を変動させる。センサが回転したときに生じるコリオリ力による錘102の変位を、静電容量によって検出する。

Claim (excerpt)：

面方位(100)のシリコン単結晶基板より形成された振動体と、前記振動体を上下面より挟み込んで保持する一対の保持板とを有し、前記振動体は振動部である錘と前記錘を弾性的に支持する梁を有するものであり、前記梁は前記錘よりも薄く断面形状が矩形で且つ側面が(100)面で構成され<100>方向に平行に形成された領域を有し、結晶異方性エッチングを用いて形成されることを特徴とする角速度センサ。

IPC (3)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (3)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 Z