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J-GLOBAL ID：200903013660256288
回路パターン検査装置及び方法並びにこの方法に適した回路パターン配置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 忠彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994002215
Publication number (International publication number)：1995208964
Application date： Jan. 13, 1994
Publication date： Aug. 11, 1995
Summary：
【要約】【目的】微細な回路パターンの検査を高速に行える検査装置及び方法並びに回路パターン配置を提供することを目的とする。【構成】 検査すべき回路パターンを回転軸(32)に回転対称となるように載置する回転可能なステージ(30)と、前記回転軸を通る直線上に設けられ、前記回路走査する複数個のセンサ(10、151 〜15n、20)と、該複数個のセンサの出力信号を処理して前記回路パターンが正常かどうかを判断する信号処理手段(40、40A)とを有する構成である。
Claim (excerpt)：
検査すべき回路パターンを回転軸(32)に回転対称となるように載置する回転可能なステージ(30)と、前記回転軸を通る直線上に設けられ、前記回路走査する複数個のセンサ(10、20)と、該複数個のセンサの出力信号を処理して前記回路パターンが正常かどうかを判断する信号処理手段(40、40A)とを有することを特徴とする回路パターン検査装置。
IPC (3)：
G01B 15/00
, G03F 1/08
, H01L 21/66
Cited by examiner (6)
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