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J-GLOBAL ID：200903013699474274

波長可変光学フィルタの作製方法

Inventor： 鈴木 与志雄 ,  長岡 新二 ,  小林 潤也
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 光石 俊郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998215106
Publication number (International publication number)：2000047026
Application date： Jul. 30, 1998
Publication date： Feb. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】 小型でフレキシブル性に富む光学薄膜フィルタの製作方法を提供する。【解決手段】 基板上1にポリイミドフィルム2を作製し、透過波長が一方向に連続的に異なる誘電体薄膜フィルタ3を形成し、その後上記一方向に短冊状に切断し、基板1から上にポリイミドフィルム2及び誘電体薄膜フィルタを剥離するようにした。

Claim (excerpt)：

基板上にポリイミド材料を所望の厚さに塗布し所定のベーキング処理後そのポリイミドフィルム上へ、基板面内の一定方向に沿って透過中心波長が連続的に異なる誘電体薄膜フィルタを形成する工程と、上記ポリイミドフィルタ及び誘電体薄膜フィルタを上記透過中心波長が連続的に異なる方向に沿って上記基板に至る深さまで短冊条に切断する工程と、上記ポリイミドフィルム及び誘電体薄膜フィルタを上記基板から剥離する工程と、を有する波長可変光学フィルタの作製方法。

F-Term (6)：

2H048GA05 ,  2H048GA13 ,  2H048GA33 ,  2H048GA36 ,  2H048GA60 ,  2H048GA62

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-211203
  
• 特開昭59-045408
  
• 特開平4-211203
  
• 特開昭59-045408