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J-GLOBAL ID：200903013707094222

プラズマを発生させる方法およびプラズマ発生装置

Inventor： 野村 信福 ,  豊田 洋通
Applicant, Patent owner： 株式会社テクノネットワーク四国
Agent (1)： 河野 隆一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002098193
Publication number (International publication number)：2003297598
Application date： Apr. 01, 2002
Publication date： Oct. 17, 2003
Summary：

【要約】【課題】本発明の目的は、液体中において高エネルギーのプラズマを発生する方法および装置を提供することである。【解決手段】ドデカン等の液体3の中に超音波発生装置4により超音波を照射して気泡を発生させるとともに、電磁波発生装置5により当該液体中で気泡が発生している位置に電磁波を照射して気泡中に高エネルギーのプラズマを発生させることにより、熱に弱い材料の表面にも蒸着加工のできるようなプラズマ発生方法を提供する。

Claim (excerpt)：

液体中に超音波を照射して気泡を発生させるとともに、当該液体中に電磁波を照射して気泡中にプラズマを発生させる方法。

IPC (7)：

H05H 1/24 ,  B01J 19/08 ,  B01J 19/10 ,  C23C 14/24 ,  C23C 16/27 ,  C23C 16/511 ,  H05H 1/46

FI (8)：

H05H 1/24 ,  B01J 19/08 H ,  B01J 19/10 ,  C23C 14/24 S ,  C23C 14/24 T ,  C23C 16/27 ,  C23C 16/511 ,  H05H 1/46 B

F-Term (23)：

4G075AA24 ,  4G075AA42 ,  4G075BC01 ,  4G075BD14 ,  4G075CA23 ,  4G075CA26 ,  4G075CA47 ,  4G075CA65 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EB41 ,  4G075ED15 ,  4K029AA01 ,  4K029AA11 ,  4K029BA62 ,  4K029DA04 ,  4K030AA09 ,  4K030BA28 ,  4K030CA01 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030EA01 ,  4K030FA01