ガス不純物の除去システム

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：木内光春
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999134085
Publication number (International publication number)：2000317248
Application date： May. 14, 1999
Publication date： Nov. 21, 2000
Summary：

【要約】【課題】処理空気の温湿度を一定に維持しながら、処理空気中に含まれるガス不純物を高効率、低圧損で除去する。【解決手段】チャンバ21の内部に、プレフィルタ24、中性能フィルタ25、冷却コイル26、加熱コイル27、ガス不純物の除去装置28、再熱コイル29、送風機30、水不溶性ガス除去ケミカルフィルタ31、HEPAフィルタ32を順次設け、ガス不純物の除去装置28の出口に、乾球温度計40を設ける。また、ガス不純物の除去装置28は、送風方向に沿って複数段の固体壁41〜44を備え、各段の固体壁には上方から液体を滴下し、固体壁の表面に液膜を形成する。また、最下流に配設された固体壁44に滴下された液体を回収し、この液体をポンプ47によって隣接する固体壁43の上部に循環させ、同様に、ポンプ46、45によって順次上流側の固体壁42、41の上部に循環させる。

Claim (excerpt)：

ガス不純物を含む処理対象となる空気流をその内部で上流から下流に流通させることが可能なチャンバと、前記チャンバ内に、前記空気流に対して略直交方向に複数段に設けられた固体壁と、前記複数段の固体壁の内、最下流に配設された固体壁に液体を供給する給水手段とを備え、前記最下流に配設された固体壁に供給された液体を回収し、この液体を順次隣接する上流側の固体壁の上部に循環させるように構成し、前記固体壁に液膜を形成したことを特徴とするガス不純物の除去システム。

IPC (2)：

B01D 53/14 , B01D 53/14 102

FI (2)：

B01D 53/14 C , B01D 53/14 102

F-Term (9)：

4D020BA23 , 4D020BB03 , 4D020CB33 , 4D020CC01 , 4D020CC09 , 4D020CC10 , 4D020CC16 , 4D020DA02 , 4D020DB02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (13)

特開平4-219119
特開平4-219119
ガス不純物の除去装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-079434 Applicant：高砂熱学工業株式会社

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