Pat

J-GLOBAL ID：200903013717359305

カップ式めっき装置

Inventor： 内海 裕二
Applicant, Patent owner： 日本エレクトロプレイテイング・エンジニヤース株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998176360
Publication number (International publication number)：2000008192
Application date： Jun. 23, 1998
Publication date： Jan. 11, 2000
Summary：

【要約】【課題】 予めめっき対象面にシード金属が施されたウェーハを、カップ式めっき装置により順次取り替えてめっき処理する場合でも良好なめっきを施すことが可能となる技術の提供を目的としている。【解決手段】 めっき槽1の開口部2に沿ってカソード電極付きシールパッキン3を配置すると共にトップリング4を取り付けることによりシールパッキン3の内周縁で一定幅を露出させて形成したウエーハ支持部5にウェーハ6の周縁部を載置してめっきを施すものであるカップ式めっき装置について、ウエーハ支持部5に付着しためっき液を吸引して除去できるようにした。

Claim (excerpt)：

めっき槽開口部に沿ってカソード電極付きシールパッキンを配置すると共にトップリングを取り付けることにより前記シールパッキンの内周縁で一定幅を露出させて形成したウエーハ支持部にウェーハの周縁部を載置してめっきを施すものであるカップ式めっき装置において、ウエーハ支持部に付着しためっき液を吸引して除去できるようにしたことを特徴とするカップ式めっき装置。

IPC (4)：

C25D 7/12 ,  C25D 21/00 ,  C25D 21/08 ,  H01L 21/304 648

FI (4)：

C25D 7/12 ,  C25D 21/00 B ,  C25D 21/08 ,  H01L 21/304 648 K

F-Term (7)：

4K024BB12 ,  4K024CB01 ,  4K024CB02 ,  4K024CB11 ,  4K024CB18 ,  4K024CB19 ,  4K024GA16