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J-GLOBAL ID：200903013717761960

三次元形状測定装置

Inventor： 角田 久常
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 四宮 通
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995061743
Publication number (International publication number)：1996233547
Application date： Feb. 24, 1995
Publication date： Sep. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】 測定の信頼性を低下させることなく、複数の光距離センサを用いて各光距離センサによる同時計測を行い、測定時間を短縮させる。【構成】 レーザー変位計21,22の各々の照射部21A,22Aは、互いに異なる波長λ1,λ2のレーザー光を同時に照射する。レーザー変位計21の受光部21Bは波長λ1の光を受光するとともに波長λ2の光を受光せず、レーザー変位計22の受光部22Bは波長λ2の光を受光するとともに波長λ1の光を受光しない。これにより、レーザー変位計21,22間の相互干渉が防止される。

Claim (excerpt)：

各々が、被測定物に対して照射光を照射する照射部と、前記被測定物からの反射光を受光する受光部とを備えた複数の光距離センサと、前記複数の光距離センサと前記被測定物との間の相対位置を変更させる位置変更手段と、前記複数の光距離センサの各々と前記被測定物との間の各相対位置に応じた前記複数の光距離センサの受光部の出力に基づいて、前記被測定物の三次元形状データを作製する三次元形状データ作製手段と、を備えた三次元形状測定装置において、前記複数の光距離センサの照射部から同時に照射光が照射されるように、前記複数の光距離センサを駆動する駆動手段を更に備え、前記複数の光距離センサの各々の照射部は、前記照射光として互いに異なる波長の光を照射し、前記複数の光距離センサの各々の受光部は、当該光距離センサの照射部から照射された照射光と同一の波長の光を受光するとともに他の光距離センサの照射部から照射された照射光と同一の波長の光は受光しない、ことを特徴とする三次元形状測定装置。