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J-GLOBAL ID：200903013747942218

検査装置及びそれを用いたデバイスの製造方法

Inventor： 辻 俊彦 ,  宮崎 恭一 ,  竹内 誠二
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995209096
Publication number (International publication number)：1997033443
Application date： Jul. 24, 1995
Publication date： Feb. 07, 1997
Summary：

【要約】【目的】 レチクルなどの検査面上の検査に際して、光電検出器の感度を走査スポットの走査位置によらず均一とし、従って高いS/N 比で検査を行なうことのできる検査装置及びそれを用いたデバイスの製造方法を得ること。【構成】 検査面に偏向面がほぼ揃った2周波レーザビームを走査する走査光学系と、該検査面から発生する光を受光する光電検出器を含む受光光学系と、前記ビームによる走査位置に応じて該光電検出器への印加電圧を変化させる制御手段とを有すること。

Claim (excerpt)：

検査面に偏向面がほぼ揃った2周波レーザビームを走査する走査光学系と、該検査面から発生する光を受光する光電検出器を含む受光光学系と、前記ビームによる走査位置に応じて該光電検出器への印加電圧を変化させる制御手段とを有することを特徴とする検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G01N 21/88 E ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/30 503 G