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J-GLOBAL ID：200903013748836195

走査型プロ-ブ顕微鏡

Inventor：
安武 正敏

About 安武 正敏


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツルメンツ株式会社

About セイコーインスツルメンツ株式会社


Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999009608
Publication number (International publication number)：2000206026
Application date： Jan. 18, 1999
Publication date： Jul. 28, 2000
Summary：
【要約】【課題】 Z 粗動に要する時間を短縮し、試料面の帯電を防止し、また試料面の電位を一定に保ことにより、静電気力によるスナップイン等の防止を可能とする。また試料表面力によるスナップインも低減する。【解決手段】 カンチレバー部に複数個の計測用と導電性のZ 距離制御用のカンチレバーを有する構成とした。ここでZ 距離制御用のカンチレバーは、ばね定数が0.01〜0.1N/mと柔らかくまた先端半径も100 -200 nmと丸いため、高速に試料面と接触しても破損しない構造とした。またZ 距離制御用のカンチレバーのたわみ信号によりZ 粗動の制御を切り替え、試料面近傍へ計測用カンチレバーがゆっくりと送られる構成とした。
Claim (excerpt)：
【請求項1 】 微細な探針つき片持ち梁(カンチレバー)で試料表面近傍を走査し、カンチレバーのたわみ信号より試料表面の形状、物性情報を得る走査型プローブ顕微鏡において、同一チップ上に長さの異なる複数個のカンチレバー(以後カンチレバー部と呼ぶ)を隣あって配置し、長い方のカンチレバーをZ 距離制御用とし、短いほうのカンチレバーを計測用とすることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。【請求項2 】 前記カンチレバー部の長いほうのカンチレバーは導電性とし、試料面の帯電を防止したり、試料面をある電位で一定にすることを特徴とする請求項1 記載の走査型プローブ顕微鏡。【請求項3 】帯電防止のために前記の導電性の長い方のカンチレバーで測定面を接触走査後、計測用のカンチレバーで試料面を走査することを特徴とする請求項1 記載の走査型プローブ顕微鏡。【請求項4 】 前記カンチレバー部の両端にZ 距離制御用の長い方のカンチレバーを配し、真中に複数個の計測用のカンチレバーを配することを特徴とする請求項1 記載の走査型プローブ顕微鏡。【請求項5】 微細な探針つき片持ち梁(カンチレバー)で試料表面近傍を走査し、カンチレバーのたわみ信号より試料表面の形状、物性情報を得る走査型プローブ顕微鏡において、Z 粗動時間を短縮する目的で、前記カンチレバー部の長い方のカンチレバーのたわみ信号によりZ 粗動の制御を切り替えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。【請求項6】 微細な探針つき片持ち梁(カンチレバー)で試料表面近傍を走査し、カンチレバーのたわみ信号より試料表面の形状、物性情報を得る走査型プローブ顕微鏡において、隣あって並ぶ複数個のカンチレバーを1 つの光てこで制御することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。【請求項7】 微細な探針つき片持ち梁(カンチレバー)で試料表面近傍を走し、カンチレバーのたわみ信号より試料表面の形状、物性情報を得る走査型プローブ顕微鏡において、カンチレバーが試料面に急に引き込まれるスナップインを防ぐ目的で前記カンチレバー部の長い方のカンチレバーのたわみ信号を開始信号としてカンチレバー部全体を振動させながら計測用のカンチレバーを試料面に近づけ、また試料面に接触している長い方のカンチレバーを通して試料面を微小振動させることを特徴とした走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4)：
G01N 13/16 ,  G01N 13/10 ,  G01B 21/30 ,  H01L 41/09
FI (4)：
G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 T ,  G01B 21/30 Z ,  H01L 41/08 M
F-Term (19)：
2F069AA54 ,  2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069DD01 ,  2F069DD15 ,  2F069DD25 ,  2F069GG02 ,  2F069GG35 ,  2F069GG39 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069JJ04 ,  2F069JJ25 ,  2F069LL03 ,  2F069MM04 ,  2F069MM23 ,  2F069PP02 ,  2F069QQ05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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